德國普旭真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個旋片。旋轉(zhuǎn)時，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動。兩個旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時，與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大（即膨脹），氣體壓強降低，泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內(nèi)的壓強，因此將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔絕時，即轉(zhuǎn)至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，最后與排氣口相通。當被壓縮氣體超過排氣壓強時，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運轉(zhuǎn)，達到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級（低真空級），由低真空級抽走，再經(jīng)低真空級壓縮后排至大氣中，即組成了雙級泵。這時總的壓縮比由兩級來負擔，因而提高了極限真空度。
德國普旭真空泵特性：
1.設計精密、結(jié)構(gòu)堅固、重量輕、易于安裝及維護.
2.空氣冷卻（氣冷式）
3.值結(jié)式驅(qū)動,可避免轉(zhuǎn)動皮帶及齒輪之松弛或損耗.
4.含高效率油霧過濾器,不須將氣體排出室外.
5.進氣口有逆止閥,當泵浦停止時,此逆止閥可隔離泵浦于系統(tǒng),避免真空油逆流.
6.低震動,不需用基礎螺拴固定泵浦.
7.運轉(zhuǎn)聲音小
8.具氣體壓載閥,可適用于蒸氣之制程.
9.具氣體壓載閥，可適用于大量蒸氣之制程。即在真空度0.5mbar到40mbar之間進入泵浦入口之水蒸氣,會從泵浦出氣口排出。
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